/ 美通社 / -- Picarro 宣布推出经我们完全优化的 AMC 监控系统——Picarro SAM(取样 Sample、分析 Analyze 和监测 Monitor)。该系统由 Picarro 在业界领先的基于 CRDS传感器组成,该传感器已集成到最新的采样系统中。SAM 单元可提供高通量采样,而不会影响传感器的性能。

 

Picarro AMC Monitoring System

 

新的 Picarro SAM 系统是从组件产品到系统解决方案的重大转变。一站式的设计、制造和测试系统的好处包括:

 

针对 Picarro 硬件和软件设计且完全集成的系统——无集成兼容性问题


Picarro SAM 系统进行过精心优化——系统性能符合 Picarro Semi 系统规格


新发明的、正在申请专利的气体输送歧管促成了 SAM 的显着性能优势,使其在很短的时间内达到万亿分之几(ppt)的检测灵敏度,并能快速将 SAM 系统恢复到基线灵敏度水平。这使得 SAM 成为在线实时 AMC 监视系统的理想选择。该系统带有易于使用的图形用户界面,可进行各种图表和趋势分析。

 

SAM 可以配置为从 8 个或 16 个端口采样,并且目前可用于检测氨、氟化氢和盐酸,这三个关键 AMC 会影响半导体晶圆的产量。展望未来,我们将根据 Picarro 的半导体产品路线图为其它气体提供 SAM 系统。

 

SAM 系统路线图还将支持复杂的 AMC 分析,以帮助客户更准确地快速识别 AMC 事件的位置,从而允许采取更快的纠正措施,以提高与 AMC 相关的晶圆产量。